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Année : 2006
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https://hal.science/hal-00189329
Soumis le : mardi 20 novembre 2007-16:13:14
Dernière modification le : dimanche 28 septembre 2025-03:15:34
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00189329 , version 1
Citer
Yves Pauleau. Determination and Generation Mechanisms of Residual Stresses in Thin Films Produced by Physical Vapor Deposition Techniques. Elsevier, pp.34, 2006. ⟨hal-00189329⟩
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